通用应用程序&晶片处理
通用半导体应用&晶片处理
最终效果器
末端效应器,也称为半导体处理“刀片”,是机器人的手来处理和半导体晶片位置之间移动。所以末端效应器必须在尺寸上精确和热稳定,而光滑,耐磨表面,安全地处理晶片没有产生微粒污染。在某些情况下,防陶瓷是用来防止晶片表面的静电积累。
加热器和加热组件
CoorsTek组装各种半导体级、陶瓷加热器和组件包括:
- Tecorundum SiC组件
- 氮化铝(AlN)加热器
- 石英& Quartz-carbon加热器
- 氮化硅(Si3N4)加热器
提升销
提升元件用于组件抬起或移动通过半导体晶片加工的位置。因为它们暴露于室或其他加工条件,他们需要健壮的热稳定性和耐蚀性。
真空过滤器是用于真空工艺设备真空室的排气速度,减少粒子小蝰蛇晶片,导致更高的收益率和吞吐量。CoorsTek真空过滤器使用多孔陶瓷专门为各种类型和大小的设计真空室。
自定义组件和组件
从先进的技术陶瓷材料精密装配和洁净室包装、CoorsTek功能为您的下一个项目。我们与你合作工程师专门组件,组件和半导体质量流程。CoorsTek联系,讨论您的应用程序。
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